SI3N4-TC（陶瓷级氮化硅）
类别	单位	指标
N	%	>37.5%
O	%	<1.8%
Fe	ppm	<100
Al	ppm	<100
Ca	ppm	<60
P	ppm	<50
Ni	ppm	<50
Cu	ppm	<50
Na	ppm	<50
Mg	ppm	<50
K	ppm	<50
Ti	ppm	<50
Cr	ppm	<50
Co	ppm	<25
Zn	ppm	<25
Li	ppm	<25
Be	ppm	<25
阿尔法相含量	%	93
粒度D10	µm	<0.5
粒度D50	µm	<1
粒度D90	µm	<3